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Archiv: Frist abgelaufen am 12.05.2025

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Abgeschlossen

Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers)

Auftraggeber:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Dresden, DEU
Veröffentlicht:
11.04.2025
Angebotsfrist
12.05.2025Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt einen DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) für den Standort Dresden aus. Der Auftrag umfasst die Lieferung und Integration von drei Ätzkammern (IPMS-MRS07.1, IPMS-MRS07.2, IPMS-MRS08.1, IPMS-MRS08.2) für verschiedene Ätzprozesse wie tiefes Silizium-Ätzen, Oxid-Ätzen und Nitrid-/Poly-Si-Ätzung. Optionale Leistungen wie erweiterte Gewährleistung und Werkzeugabnahme sind ebenfalls Teil der Ausschreibung.

Lose (1)

  • Los LOT-0000

    DRIE etch cluster (Mainframe + 3 Chambers) (IPMS-MRS07.1; IPMS-MRS07.2; IPMS-MRS08.1; IPMS-MRS08.2) - PR882587-2480-P

Klassifizierung

CPV-Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DED21

Details

Angebotsfrist
12.05.2025
Referenznummer
PR882587-2480-P
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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