Anlagen für Pulveraktivkohle mit zwei Silos und Dosieranlage - Meilen
- Buyer:
- Zweckverband ARA Rorguet
- Region:
- Meilen, CHE
Archive: deadline passed on 10/20/2025
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Completed
Die Fraunhofer-Gesellschaft in Dresden sucht ein ALD-System (Dielectric) für die Abscheidung von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf 300mm Wafern im Reinraumumfeld (ISO4). Das System soll die Prozessierung von verschiedenen Wafertypen und die Integration von In-situ-Messtechnik ermöglichen. Details zu optionalen Leistungspositionen und Prozessanforderungen sind den Vergabeunterlagen zu entnehmen.
ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1017835-2480-P
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