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Archive: deadline passed on 10/20/2025

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - ALD System (Dielectric) für Halbleiterfertigung

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Dresden, DEU
Published:
09/19/2025
Deadline
10/20/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft in Dresden sucht ein ALD-System (Dielectric) für die Abscheidung von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf 300mm Wafern im Reinraumumfeld (ISO4). Das System soll die Prozessierung von verschiedenen Wafertypen und die Integration von In-situ-Messtechnik ermöglichen. Details zu optionalen Leistungspositionen und Prozessanforderungen sind den Vergabeunterlagen zu entnehmen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1017835-2480-P

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DED21

Details

Deadline
10/20/2025
Reference Number
PR1017835-2480-P
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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