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Abgeschlossen

Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - ALD System (Dielectric) für Halbleiterfertigung

Auftraggeber:: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:: Dresden, DEU
Veröffentlicht:: 19.09.2025
Angebotsfrist: 20.10.2025Abgelaufen

Zeitplan

Bekanntmachung19.09.2025
Angebotsfrist20.10.2025

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft in Dresden sucht ein ALD-System (Dielectric) für die Abscheidung von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf 300mm Wafern im Reinraumumfeld (ISO4). Das System soll die Prozessierung von verschiedenen Wafertypen und die Integration von In-situ-Messtechnik ermöglichen. Details zu optionalen Leistungspositionen und Prozessanforderungen sind den Vergabeunterlagen zu entnehmen.

Lose (1)

Los LOT-0000
ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1017835-2480-P

Klassifizierung

CPV-Codes: 42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes: DED21

Details

Angebotsfrist: 20.10.2025
Referenznummer: PR1017835-2480-P
Plattform: Bund, TED
Quelle: Originalquelle

Kontaktinformationen

Telefon: +49 00000000
Adresse: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - ALD System (Dielectric) für Halbleiterfertigung

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