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Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - ALD System (Dielectric) für Halbleiterfertigung

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Dresden, DEU
Veröffentlicht: 19.09.2025

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung19.09.25
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft in Dresden sucht ein ALD-System (Dielectric) für die Abscheidung von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf 300mm Wafern im Reinraumumfeld (ISO4). Das System soll die Prozessierung von verschiedenen Wafertypen und die Integration von In-situ-Messtechnik ermöglichen. Details zu optionalen Leistungspositionen und Prozessanforderungen sind den Vergabeunterlagen zu entnehmen.

Lose (1)

Los LOT-0000

ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1017835-2480-P

Klassifizierung

CPV-Codes

42990000Industriemaschinen

NUTS-Codes

DED21

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
PR1017835-2480-P
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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