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Archive: deadline passed on 04/02/2024

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft - Chemisch-mechanisches Poliersystem (CMP)

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
DEU
Published:
02/29/2024
Deadline
04/02/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein chemisch-mechanisches Poliersystem (CMP) für die Bearbeitung von Halbleiterwafern. Das System ist für die Strukturierung und Bearbeitung abgeschiedener Schichten auf Siliziumwafern konzipiert. Hauptkomponenten umfassen eine Kassettenschnittstelle, ein Poliermodul, ein Inline-Prozessüberwachungssystem und ein integriertes Reinigungsmodul.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    Chemisch-Mechanisches Poliersystem (CMP) - PR612848 - 2480 - W

Classification

CPV Codes
31712000Elektrische Maschinen
NUTS Codes
DED21

Details

Deadline
04/02/2024
Reference Number
PR612848 - 2480 - W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 22894990
Address
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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