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Archive: deadline passed on 07/29/2024

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft - CDSEM für Strukturbreiten-Analyse

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Region:
DEU
Published:
06/25/2024
Deadline
07/29/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein CDSEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope) zur automatisierten Strukturbreiten-Analyse an strukturierten Elektronenstrahllithographie-Lacken auf 200 mm-Wafern. Das System soll über Optionen für verschiedene Wafergrößen (150 mm, 100 mm, 3'', 2'') sowie Bruchstücke verfügen. Zusätzliche Optionen umfassen einstellbaren Strahlstrom, rauscharmen BSE-Detektor und Driftkorrektur. Eine SECS/GEM-Schnittstelle für Datenausgabe ist gewünscht. Serviceverträge über 2, 4 oder 6 Jahre sind optional.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    CDSEM - PR619473-2270-W

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE212

Details

Deadline
07/29/2024
Reference Number
PR619473-2270-W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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