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Archiv: Frist abgelaufen am 29.07.2024

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Abgeschlossen

Fraunhofer-Gesellschaft - CDSEM für Strukturbreiten-Analyse

Auftraggeber:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Region:
DEU
Veröffentlicht:
25.06.2024
Angebotsfrist
29.07.2024Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein CDSEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope) zur automatisierten Strukturbreiten-Analyse an strukturierten Elektronenstrahllithographie-Lacken auf 200 mm-Wafern. Das System soll über Optionen für verschiedene Wafergrößen (150 mm, 100 mm, 3'', 2'') sowie Bruchstücke verfügen. Zusätzliche Optionen umfassen einstellbaren Strahlstrom, rauscharmen BSE-Detektor und Driftkorrektur. Eine SECS/GEM-Schnittstelle für Datenausgabe ist gewünscht. Serviceverträge über 2, 4 oder 6 Jahre sind optional.

Lose (1)

  • Los LOT-0000

    CDSEM - PR619473-2270-W

Klassifizierung

CPV-Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DE212

Details

Angebotsfrist
29.07.2024
Referenznummer
PR619473-2270-W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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