Beschaffung eines Aufsichtsscanners - Berlin
- Buyer:
- Berliner Hochschule fuer Technik
- Region:
- 13353 Berlin, DEU
Archive: deadline passed on 07/07/2025
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Completed
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt ein In-Line Rasterkraftmikroskop (AFM) für ihre Pilotlinie zur heterogenen Integration aus. Das Gerät dient zur Oberflächencharakterisierung von Wafern bis 300 mm Durchmesser, insbesondere zur Messung der Oberflächenrauheit und zur Detektion von Dishing oder Vorsprüngen vor Bond-Prozessen. Eine Integration in ein bestehendes MES und Datenbankanbindung sind von Vorteil. Verschiedene Scan-Modi sind erforderlich.
In-Line AFM (IZM-15.1) - PR990603-2590-P
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