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Abgeschlossen

Fraunhofer-Gesellschaft, Berlin - In-Line Rasterkraftmikroskopie (AFM)

Auftraggeber:
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Region:
Berlin, DEU
Veröffentlicht:
06.06.2025
Angebotsfrist
07.07.2025Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, schreibt ein In-Line Rasterkraftmikroskop (AFM) für ihre Pilotlinie zur heterogenen Integration aus. Das Gerät dient zur Oberflächencharakterisierung von Wafern bis 300 mm Durchmesser, insbesondere zur Messung der Oberflächenrauheit und zur Detektion von Dishing oder Vorsprüngen vor Bond-Prozessen. Eine Integration in ein bestehendes MES und Datenbankanbindung sind von Vorteil. Verschiedene Scan-Modi sind erforderlich.

Lose (1)

  • Los LOT-0000

    In-Line AFM (IZM-15.1) - PR990603-2590-P

Klassifizierung

CPV-Codes
38126000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DE300

Details

Angebotsfrist
07.07.2025
Referenznummer
PR990603-2590-P
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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