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Archive: deadline passed on 07/29/2024

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Completed

Fraunhofer-Gesellschaft - Belackungsanlage für Wafer

Buyer:
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Region:
DEU
Published:
06/25/2024
Deadline
07/29/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Ausschreibung einer automatisierten Forschungsanlage zum Belacken von Wafern mit Photo- und eBeam-Lacken sowie zum Entwickeln nach dem Belichten. Die Anlage soll für verschiedene Wafergrößen (2'', 3'', 100 mm, 150 mm) ausgelegt sein und Optionen für zusätzliche Lack- und Entwicklerlinien sowie Schichtdickenmessung und Abfallentsorgung bieten. Die Bedienung kann extern erfolgen und eine SECS/GEM-Schnittstelle ist vorgesehen.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    Belacker - PR619491-2270-W

Classification

CPV Codes
42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE212

Details

Deadline
07/29/2024
Reference Number
PR619491-2270-W
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 00000000
Address
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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