Archive: deadline passed on 07/27/2026
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Completed
Fraunhofer ENAS Chemnitz - Gas- und Vakuumversorgung für Cluster-Tool
- Buyer:
- Fraunhofer ENAS
- Region:
- 09126 Chemnitz, DEU
- Published:
- 07/12/2026
- Deadline
- 07/27/2026Expired
Timeline
- Published
- Submission deadline
Description
Die Fraunhofer ENAS in Chemnitz schreibt die Erweiterung und Neuverlegung von Gas-, Vakuum- und Abgasleitungen für ein Cluster-Tool aus. Dies umfasst die Installation von Ar, N2 (6.0 und 5.0), O2, He und Druckluft sowie 4 Vakuumleitungen und die Einbindung in die Abluft. Ein Druckminderer-Tableau für Helium ist neu aufzubauen, bestehende Leitungen für andere Gase werden erweitert. Die Arbeiten finden in den Reinräumen der TU Chemnitz statt.
Lots (1)
- Lot LOT-0000
Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
Classification
- NUTS Codes
- DED
Details
- Deadline
- 07/27/2026
- Platform
- Bund
- Source
- Original source
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