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Fraunhofer ENAS Chemnitz - Gas- und Vakuumversorgung für Cluster-Tool

Abgeschlossen
Fraunhofer ENAS
09126 Chemnitz, DEU
Veröffentlicht: 12.07.2026

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung12.07.26
Angebotsfrist27.07.26

Beschreibung

Die Fraunhofer ENAS in Chemnitz schreibt die Erweiterung und Neuverlegung von Gas-, Vakuum- und Abgasleitungen für ein Cluster-Tool aus. Dies umfasst die Installation von Ar, N2 (6.0 und 5.0), O2, He und Druckluft sowie 4 Vakuumleitungen und die Einbindung in die Abluft. Ein Druckminderer-Tableau für Helium ist neu aufzubauen, bestehende Leitungen für andere Gase werden erweitert. Die Arbeiten finden in den Reinräumen der TU Chemnitz statt.

Lose (1)

Los 1

Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung

Details

Angebotsfrist
27.07.2026
Plattform
Bund

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