Archiv: Frist abgelaufen am 27.07.2026
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Abgeschlossen
Fraunhofer ENAS Chemnitz - Gas- und Vakuumversorgung für Cluster-Tool
- Auftraggeber:
- Fraunhofer ENAS
- Region:
- 09126 Chemnitz, DEU
- Veröffentlicht:
- 12.07.2026
- Angebotsfrist
- 27.07.2026Abgelaufen
Zeitplan
- Bekanntmachung
- Angebotsfrist
Beschreibung
Die Fraunhofer ENAS in Chemnitz schreibt die Erweiterung und Neuverlegung von Gas-, Vakuum- und Abgasleitungen für ein Cluster-Tool aus. Dies umfasst die Installation von Ar, N2 (6.0 und 5.0), O2, He und Druckluft sowie 4 Vakuumleitungen und die Einbindung in die Abluft. Ein Druckminderer-Tableau für Helium ist neu aufzubauen, bestehende Leitungen für andere Gase werden erweitert. Die Arbeiten finden in den Reinräumen der TU Chemnitz statt.
Lose (1)
- Los LOT-0000
Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
Klassifizierung
- NUTS-Codes
- DED
Details
- Angebotsfrist
- 27.07.2026
- Plattform
- Bund
- Quelle
- Originalquelle
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