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Archive: deadline passed on 07/07/2026

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Completed

Frankfurt (Oder), IHP GmbH - Upgrade eines 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber auf WxZ Sprint Konfiguration

Buyer:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Region:
Frankfurt (Oder), DEU
Published:
06/04/2026
Deadline
07/07/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die IHP GmbH in Frankfurt (Oder) schreibt das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems (Hersteller: Applied Materials Inc., AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration aus. Dies beinhaltet Anpassungen am Gasverteilungssystem für gepulste Wolfram-Abscheidungsprozesse und die Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr. Die Leistung umfasst Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung von Hard- und Software. Das Projekt ist Teil der EU-Initiative "APECS pilot line".

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Classification

CPV Codes
31712100Elektrische Maschinen42990000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE403

Details

Deadline
07/07/2026
Reference Number
IHP-2026-018
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 3318661719
Address
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikIm Technologiepark 2515236 Frankfurt (Oder)DEU

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