Anlagen für Pulveraktivkohle mit zwei Silos und Dosieranlage - Meilen
- Buyer:
- Zweckverband ARA Rorguet
- Region:
- Meilen, CHE
Archive: deadline passed on 07/07/2026
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Completed
Die IHP GmbH in Frankfurt (Oder) schreibt das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems (Hersteller: Applied Materials Inc., AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration aus. Dies beinhaltet Anpassungen am Gasverteilungssystem für gepulste Wolfram-Abscheidungsprozesse und die Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr. Die Leistung umfasst Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung von Hard- und Software. Das Projekt ist Teil der EU-Initiative "APECS pilot line".
Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
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