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Abgeschlossen

Frankfurt (Oder), IHP GmbH - Upgrade eines 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber auf WxZ Sprint Konfiguration

Auftraggeber:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Region:
Frankfurt (Oder), DEU
Veröffentlicht:
04.06.2026
Angebotsfrist
07.07.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die IHP GmbH in Frankfurt (Oder) schreibt das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems (Hersteller: Applied Materials Inc., AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration aus. Dies beinhaltet Anpassungen am Gasverteilungssystem für gepulste Wolfram-Abscheidungsprozesse und die Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr. Die Leistung umfasst Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung von Hard- und Software. Das Projekt ist Teil der EU-Initiative "APECS pilot line".

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Klassifizierung

CPV-Codes
31712100Elektrische Maschinen42990000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DE403

Details

Angebotsfrist
07.07.2026
Referenznummer
IHP-2026-018
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 3318661719
Adresse
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikIm Technologiepark 2515236 Frankfurt (Oder)DEU

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