Frankfurt (Oder), IHP GmbH - Leibniz-Institut - Semi-automatisches Wafer-Prober-System

Beschaffung eines semi-automatischen Wafer-Prober-Systems für die elektrische und temperaturabhängige Charakterisierung von 200 mm Wafern. Das System muss DC- und gepulste I-V-Messungen sowie niederfrequente Impedanzmessungen bis 10 MHz unterstützen und in das bestehende Keithley 4200A-SCS integriert werden. Der Umfang beinhaltet Prober, temperaturkontrollierten Chuck, elektrische Sonden, optische Systeme, Steuerungshardware und -software, Verkabelung, Schnittstellen, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und Integrationsunterstützung. Lieferort ist Frankfurt (Oder).