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Completed

Frankfurt (Oder) - Batch-Anlagen für LPVCD-BTBAS (Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-) Prozesse

Buyer:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Region:
Frankfurt (Oder), DEU
Published:
11/30/2025
Deadline
01/16/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung von Batch-Anlagen für LPVCD-BTBAS-Prozesse (Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-) im Rahmen des EU-Projekts "APECS pilot line". Die Anlagen sind für den Einsatz in der Pilotlinie vorgesehen. Die EU-Kommission und/oder das Chips Joint Undertaking behalten sich Audits vor, wofür der Auftragnehmer die entsprechenden Dokumente aufbewahren und Zugangsrechte gewähren muss.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes

Classification

CPV Codes
42940000Industriemaschinen42942000Industriemaschinen
NUTS Codes
DE403

Details

Deadline
01/16/2026
Reference Number
IHP-2025-060
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 3318661719
Address
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikIm Technologiepark 2515236 Frankfurt (Oder)DEU

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