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Archiv: Frist abgelaufen am 16.01.2026

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Abgeschlossen

Frankfurt (Oder) - Batch-Anlagen für LPVCD-BTBAS (Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-) Prozesse

Auftraggeber:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Region:
Frankfurt (Oder), DEU
Veröffentlicht:
30.11.2025
Angebotsfrist
16.01.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Beschaffung von Batch-Anlagen für LPVCD-BTBAS-Prozesse (Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-) im Rahmen des EU-Projekts "APECS pilot line". Die Anlagen sind für den Einsatz in der Pilotlinie vorgesehen. Die EU-Kommission und/oder das Chips Joint Undertaking behalten sich Audits vor, wofür der Auftragnehmer die entsprechenden Dokumente aufbewahren und Zugangsrechte gewähren muss.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes

Klassifizierung

CPV-Codes
42940000Industriemaschinen42942000Industriemaschinen
NUTS-Codes
DE403

Details

Angebotsfrist
16.01.2026
Referenznummer
IHP-2025-060
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 3318661719
Adresse
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikIm Technologiepark 2515236 Frankfurt (Oder)DEU

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Ausschreibung12 Tage verbleibend

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Region:
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