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Frankfurt (Oder) - Batch-Anlagen für LPVCD-BTBAS (Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-) Prozesse

Abgeschlossen
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Frankfurt (Oder), DEU
Veröffentlicht: 30.11.2025

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung30.11.25
Angebotsfrist16.01.26

Beschreibung

Beschaffung von Batch-Anlagen für LPVCD-BTBAS-Prozesse (Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-) im Rahmen des EU-Projekts "APECS pilot line". Die Anlagen sind für den Einsatz in der Pilotlinie vorgesehen. Die EU-Kommission und/oder das Chips Joint Undertaking behalten sich Audits vor, wofür der Auftragnehmer die entsprechenden Dokumente aufbewahren und Zugangsrechte gewähren muss.

Lose (1)

Los IHP-2025-060

Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes

Klassifizierung

CPV-Codes

42940000Industriemaschinen42942000Industriemaschinen

NUTS-Codes

DE403

Details

Angebotsfrist
16.01.2026
Referenznummer
IHP-2025-060
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 3318661719
Adresse
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikIm Technologiepark 2515236 Frankfurt (Oder)DEU

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