Erweiterung des HIP Load Basket - Cottbus
- Auftraggeber:
- Brandenburgische Technische Universität Cottbus-Senftenberg
- Region:
- 03052 Cottbus, DEU
Archiv: Frist abgelaufen am 16.01.2026
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Abgeschlossen
Beschaffung von Batch-Anlagen für LPVCD-BTBAS-Prozesse (Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-) im Rahmen des EU-Projekts "APECS pilot line". Die Anlagen sind für den Einsatz in der Pilotlinie vorgesehen. Die EU-Kommission und/oder das Chips Joint Undertaking behalten sich Audits vor, wofür der Auftragnehmer die entsprechenden Dokumente aufbewahren und Zugangsrechte gewähren muss.
Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
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