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Archive: deadline passed on 11/14/2024

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Completed

ETH Zürich - Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage (ICP3)

Buyer:
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Region:
Zürich
Published:
10/05/2024
Deadline
11/14/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP3) für die ETH Zürich. Die Anlage muss ein Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase, Prozessdruck bis 100 mtorr, Gasflüsse bis 500 sccm, kW-Bereich RF/ICP-Generatoren mit Autotuning, Plasma-Spektroskopie, automatische Ladeschleuse für schnelle Beladung, Probengrößen ab 4 Zoll Durchmesser und Probentemperaturregelung von 10 bis 300 °C umfassen. Die Beschaffungsreife und Kreditverfügbarkeit bleiben vorbehalten.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    ICP3 Ionenätzanlage FIRST ETH Zürich

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
CH040

Details

Deadline
11/14/2024
Reference Number
bc0a3ccd-35a0-4853-9a03-2e217eab5db7
Platform
TED

Contact Information

Phone
+41446321111
Address
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export ServicesBinzmühlestrasse 130ZürichCHE

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