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Archive: deadline passed on 01/20/2025

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Completed

ETH Zürich - Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für Metall- und Dielektrika-Sputtern

Buyer:
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Region:
Zürich
Published:
11/30/2024
Deadline
01/20/2025Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung eines Dünnschicht-Cluster-Beschichtungssystems für das Sputtern von Metallen und Dielektrika. Die Anlage umfasst eine Schleuse und 4 Prozesskammern (PCs) für DC- und RF-Sputtern auf Halbleiter- und anderen Substraten. Detaillierte Spezifikationen sind den Vergabeunterlagen zu entnehmen. Die Beschaffung ist abhängig von der Projektreife und Kreditverfügbarkeit.

Lots (1)

  • Lot LOT-0000

    Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für das Sputtern von Metallen und Dielektrika

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
CH040

Details

Deadline
01/20/2025
Reference Number
f5338cbf-a4ce-43eb-9444-75dcb567dfd5
Platform
TED

Contact Information

Phone
+41446321111
Address
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export ServicesBinzmühlestrasse 130ZürichCHE

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