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Abgeschlossen

ETH Zürich - Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für Metall- und Dielektrika-Sputtern

Auftraggeber:: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Region:: Zürich
Veröffentlicht:: 30.11.2024
Angebotsfrist: 20.01.2025Abgelaufen

Zeitplan

Bekanntmachung30.11.2024
Angebotsfrist20.01.2025

Beschreibung

Beschaffung eines Dünnschicht-Cluster-Beschichtungssystems für das Sputtern von Metallen und Dielektrika. Die Anlage umfasst eine Schleuse und 4 Prozesskammern (PCs) für DC- und RF-Sputtern auf Halbleiter- und anderen Substraten. Detaillierte Spezifikationen sind den Vergabeunterlagen zu entnehmen. Die Beschaffung ist abhängig von der Projektreife und Kreditverfügbarkeit.

Lose (1)

Los LOT-0000
Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für das Sputtern von Metallen und Dielektrika

Klassifizierung

CPV-Codes: 38000000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes: CH040

Details

Angebotsfrist: 20.01.2025
Referenznummer: f5338cbf-a4ce-43eb-9444-75dcb567dfd5
Plattform: TED
Quelle: Originalquelle

Kontaktinformationen

Telefon: +41446321111
Adresse: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export ServicesBinzmühlestrasse 130ZürichCHE

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ETH Zürich - Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für Metall- und Dielektrika-Sputtern

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