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Completed

Erlangen, Universität - Reaktives Ionenätzen, Faraday Cage Etching

Buyer:
Freistaat Bayern vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Region:
Erlangen, DEU
Published:
08/26/2026
Deadline
09/11/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Universität Erlangen-Nürnberg schreibt die Herstellung von freistehenden Wellenleitern mittels "Faraday Cage Etching" aus. Der Prozess erfordert entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie für p-i-n Dioden Integration. Weiterhin sind eine aktive Helium-Rückseitenkühlung und eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse notwendig. Ein "Open Load"-Design ist für die Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern erforderlich.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Reaktives Ionenätzen

Classification

CPV Codes
22520000Druckerzeugnisse & Medien31720000Elektrische Maschinen
NUTS Codes
DE252

Details

Deadline
09/11/2026
Reference Number
2026000322
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
0981531277
Address
Freistaat Bayern vertreten durch die Universität Erlangen-NürnbergKonrad-Zuse-Straße 3-591052 ErlangenDEU

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