Erlangen, Universität - Reaktives Ionenätzen, Faraday Cage Etching

Die Universität Erlangen-Nürnberg schreibt die Herstellung von freistehenden Wellenleitern mittels "Faraday Cage Etching" aus. Der Prozess erfordert entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie für p-i-n Dioden Integration. Weiterhin sind eine aktive Helium-Rückseitenkühlung und eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse notwendig. Ein "Open Load"-Design ist für die Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern erforderlich.