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Archiv: Frist abgelaufen am 11.09.2026

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Abgeschlossen

Erlangen, Universität - Reaktives Ionenätzen, Faraday Cage Etching

Auftraggeber:
Freistaat Bayern vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Region:
Erlangen, DEU
Veröffentlicht:
26.08.2026
Angebotsfrist
11.09.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Universität Erlangen-Nürnberg schreibt die Herstellung von freistehenden Wellenleitern mittels "Faraday Cage Etching" aus. Der Prozess erfordert entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie für p-i-n Dioden Integration. Weiterhin sind eine aktive Helium-Rückseitenkühlung und eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse notwendig. Ein "Open Load"-Design ist für die Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern erforderlich.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Reaktives Ionenätzen

Klassifizierung

CPV-Codes
22520000Druckerzeugnisse & Medien31720000Elektrische Maschinen
NUTS-Codes
DE252

Details

Angebotsfrist
11.09.2026
Referenznummer
2026000322
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
0981531277
Adresse
Freistaat Bayern vertreten durch die Universität Erlangen-NürnbergKonrad-Zuse-Straße 3-591052 ErlangenDEU

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