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Archive: deadline passed on 08/03/2026

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Completed

DLR, Ulm - Laserlithographie-Anlage für Mikrostrukturierung

Buyer:
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. (DLR)
Region:
Ulm, DEU
Published:
07/01/2026
Deadline
08/03/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung einer Laserlithographie-Anlage zur Mikrostrukturierung für den Reinraum des DLR in Ulm. Die Anlage dient der direkten Lithographie auf Zielsubstraten mit hoher Auflösung und der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Sie erweitert den bestehenden Maschinenpark für die Herstellung kompakter Quantensysteme und die Technologie kalter Atomgase. Medien und Peripherien werden separat bereitgestellt.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Laserlithographie

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DE144

Details

Deadline
08/03/2026
Reference Number
ELVIS-ID E67746541
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49228996100
Address
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V. (DLR)Linder Höhe51147 KölnDEU

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