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Archive: deadline passed on 01/19/2024

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Completed

DLR - PECVD-Anlage für Ionenfallenchips, Hamburg

Buyer:
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.
Region:
DEU
Published:
12/19/2023
Deadline
01/19/2024Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Beschaffung einer Plasma-unterstützten chemischen Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD) für die Herstellung von amorphem SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern. Die Anlage ist Teil der Ausstattung eines Reinraums für die Entwicklung von Quantencomputern mittels Ionenfallen-Technologie am DLR in Hamburg. Medien und Peripherien werden separat vom DLR bereitgestellt.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    IZHH Laborausrüstung | PECVD

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DE600

Details

Deadline
01/19/2024
Reference Number
2023 / GV 7397486
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
0228 99 610 1234
Address
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.Lilienthalplatz 738108 BraunschweigDEU

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