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DLR - PECVD-Anlage für Ionenfallenchips, Hamburg

Abgeschlossen
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.
DEU
Veröffentlicht: 19.12.2023

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung19.12.23
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Beschaffung einer Plasma-unterstützten chemischen Gasphasenabscheidungsanlage (PECVD) für die Herstellung von amorphem SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern. Die Anlage ist Teil der Ausstattung eines Reinraums für die Entwicklung von Quantencomputern mittels Ionenfallen-Technologie am DLR in Hamburg. Medien und Peripherien werden separat vom DLR bereitgestellt.

Lose (1)

Los 2023 / GV 7397486

IZHH Laborausrüstung | PECVD

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE600

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
2023 / GV 7397486
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
0228 99 610 1234
Adresse
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e. V.Lilienthalplatz 738108 BraunschweigDEU

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