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Archive: deadline passed on 09/14/2026

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Completed

Bochum, Ruhr-Universität - Beschaffung einer DRIE Ätzanlage für MEMS

Buyer:
Ruhr-Universität Bochum
Region:
Bochum, DEU
Published:
08/12/2026
Deadline
09/14/2026Expired

Timeline

  1. Published
  2. Submission deadline

Description

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt die Beschaffung einer DRIE Ätzanlage für das Forschungslabor Mikroelektronik. Die Anlage dient dem tiefen anisotropen Siliciumätzen für MEMS-Strukturen auf Wafern bis 200 mm Durchmesser mittels des "BOSCH-Prozesses" und der Erforschung neuer Ätzkonzepte mit umweltfreundlicheren Gasen. Sie soll über eine leistungsfähige ICP-Quelle, Bias-Generator, schnelle Massflow-Controller und Optische Emissionsspektroskopie verfügen. Ein Vor-Ort-Service in Deutschland innerhalb von 5 Arbeitstagen ist erforderlich.

Lots (1)

  • Lot LOT-0001

    Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Classification

CPV Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS Codes
DEA51

Details

Deadline
09/14/2026
Reference Number
WD/2026/BVG00084528
Platform
Bund, TED

Contact Information

Phone
+49 2514113698
Address
Ruhr-Universität BochumUniversitätsstr. 15044801 BochumDEU

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