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Archiv: Frist abgelaufen am 14.09.2026

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Abgeschlossen

Bochum, Ruhr-Universität - Beschaffung einer DRIE Ätzanlage für MEMS

Auftraggeber:
Ruhr-Universität Bochum
Region:
Bochum, DEU
Veröffentlicht:
12.08.2026
Angebotsfrist
14.09.2026Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt die Beschaffung einer DRIE Ätzanlage für das Forschungslabor Mikroelektronik. Die Anlage dient dem tiefen anisotropen Siliciumätzen für MEMS-Strukturen auf Wafern bis 200 mm Durchmesser mittels des "BOSCH-Prozesses" und der Erforschung neuer Ätzkonzepte mit umweltfreundlicheren Gasen. Sie soll über eine leistungsfähige ICP-Quelle, Bias-Generator, schnelle Massflow-Controller und Optische Emissionsspektroskopie verfügen. Ein Vor-Ort-Service in Deutschland innerhalb von 5 Arbeitstagen ist erforderlich.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Klassifizierung

CPV-Codes
38000000Labor- & Messgeräte
NUTS-Codes
DEA51

Details

Angebotsfrist
14.09.2026
Referenznummer
WD/2026/BVG00084528
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 2514113698
Adresse
Ruhr-Universität BochumUniversitätsstr. 15044801 BochumDEU

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