Lieferung eines Automatischen Optischen Inspektionssystems (AOI)

Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung eines Automatischen Optischen Inspektionssystems (AOI) zur Materialanalytik oberflächennaher Schichten. Das System wird für die Detektion und Klassifizierung von Partikeln und Defekten auf Si-Wafern (150mm und 200mm) in einem Reinraum eingesetzt. Es dient zur Vermessung geometrischer Figuren (2D/3D), zur Bestimmung der Schichtdicke transparenter und nicht transparenter Materialien sowie zur Erfassung und Auswertung von Oberflächenrauheit und -struktur. Die Messergebnisse müssen eindeutig zuordenbar und für den Datenaustausch mit anderen Systemen geeignet sein. Hohe Verfügbarkeit, schnelle Unterstützung bei Systemausfällen und eine automatisierte Datenanalyse sind gefordert.