Konstruktion und Lieferung eines maskenlosen Lithographiesystems - Stuttgart

Gegenstand ist die Konstruktion, Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie Abnahme und Dokumentation eines maskenlosen Lithographiesystems zur hochpräzisen Belichtung von Fotolacken im Submikrometerbereich. Das System ermöglicht die Herstellung temporärer und permanenter Masken und ist für flexible Forschungs- und Entwicklungsprozesse sowie die Produktion kleiner und mittlerer Losgrößen vorgesehen. Die Leistung ist am Standort Stuttgart bis zum 30.06.2027 zu erbringen.