Fraunhofer ILT Aachen - Fizeau-Interferometer zur Oberflächenmesstechnik

Beschaffung eines Fizeau-Interferometers zur hochpräzisen interferometrischen Messung von Form und Mid-Spatial-Frequency-Errors planer und sphärischer optischer Oberflächen aus Glas. Das Messgerät wird für die Erforschung von Laserprozessen im Bereich Integrated Photonic Circuits und Quantentechnologie eingesetzt und soll in eine bestehende Anlage integriert werden. Messbereich für Plansubstrate/Wafer: ca. 2 mm bis 100 mm Durchmesser; für sphärische Oberflächen: Ø 1 bis 50,8 mm. Lieferung, Inbetriebnahme und Einweisung sind inklusive.