Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1)

Ausschreibung eines CD-SEM Measurement Systems (IPMS-MRS03.1) für die Fraunhofer-Gesellschaft in Dresden. Das System dient der Messung kritischer Abmessungen auf Halbleiterwafern in einer Produktionsumgebung der Klasse 10 (ISO 4). Wesentliche Bestandteile sind eine unterbrechungsfreie Stromversorgung, ein rückführbares zertifiziertes Normal, die Fähigkeit zu 3D-Messungen mit geneigtem Strahl und die Erkennung von rückgestreuten Elektronen (BSE). Optional werden Verbrauchsmaterialien, Ersatzteile und eine verlängerte Gewährleistung von 12 Monaten angeboten.