Fraunhofer-Gesellschaft Dresden - ALD System (Dielectric + Metal)

Die Fraunhofer-Gesellschaft in Dresden sucht ein ALD-System (Atomic Layer Deposition) für die Abscheidung von dielektrischen und Metallnitrid-Schichten auf 300 mm Wafern. Das System soll über zwei Prozesskammern verfügen und optional mit verschiedenen Sub-Tools wie Waferrotation, interner Waferlagerung, Notch Aligner, Pre-Heat Station und Ozonisator ausgestattet sein. Die Ausschreibung umfasst auch optionale Prozessgase, Verbrauchsmaterialien und Serviceverträge.