Fraunhofer-Gesellschaft, Berlin - 2D/3D AOI System für Waferinspektion

Beschaffung eines 2D/3D AOI (Automatische Optische Inspektion) Systems für die Fraunhofer-Gesellschaft in Berlin. Das System dient der automatischen Oberflächeninspektion von strukturierten Siliziumwafern zur Defekterkennung und 2D-/3D-Strukturmessung. Es soll eine 100%ige Inspektion von 200mm und 300mm Wafern ermöglichen, mit optionaler Handhabung für 100mm und 150mm Wafer sowie gewürfelte Wafer. Die Ergebnisse werden grafisch und elektronisch für nachfolgende Prozessschritte bereitgestellt. Die Ausschreibung spezifiziert Anforderungen an Abnahme, Leistung, Reinraumumgebung, Transport, Installation und Support.