Fraunhofer FEP - Retrofit Clusteranlage C300, Dresden

Das Fraunhofer FEP in Dresden beabsichtigt ein Retrofit der bestehenden Clusteranlage C300. Dies umfasst die Erneuerung der Hard- und Software der Steuerung auf SPS-Basis, die Erneuerung von Vakuumpumpen, Druckmessröhren, Vakuumventilen und Regelventilen, die Erneuerung von Motoren und Motorsteuerung für das Substrathandling, die Überarbeitung oder Erneuerung des Leistungs-Schaltschrankes sowie die Erneuerung der Druckluft- und Kühlwasserverschlauchung. Ziel ist ein möglichst kurzer Anlagenstillstand.