Frankfurt (Oder), IHP GmbH - Semi-Automatic Wafer Prober System für 200-mm Wafer

Beschaffung eines semi-automatischen Wafer Prober Systems für die elektrische und Hochfrequenz-Charakterisierung von 200-mm Wafern für Forschungs- und Laborzwecke am IHP in Frankfurt (Oder). Das System umfasst einen 200-mm Wafer Prober mit Vakuumsaugplatte, Präzisionspositionierung, individuellen Sonden, Mehrfachkontaktsonden für HF-Messungen bis mind. 6 GHz, ein Sonden-Kartensystem, automatische Mikroskopie- und Kameraausrüstung sowie Steuerungs- und Softwarekomponenten. Lieferumfang beinhaltet Transport, Installation, Inbetriebnahme, Schulung, Dokumentation und Ersatzteilversorgung.