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Physikalisch-Technische Bundesanstalt - Prozessmodul für Waferbearbeitung (Lift-Off-Verfahren)

Abgeschlossen
Physikalisch - Technische Bundesanstalt
DEU
Veröffentlicht: 03.04.2025

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung03.04.25
Angebotsfrist12.05.25

Beschreibung

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von einem Prozessmodul zur Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Das Modul muss Dimethylsulfoxid (DMSO) aufheizen und unter Druck setzen können. Zudem ist die Verwendung von hochreinem Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen erforderlich.

Lose (1)

Los Z.841ha-0252#0001

Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren.

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE300

Details

Angebotsfrist
12.05.2025
Referenznummer
Z.841ha-0252#0001
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
000
Adresse
Physikalisch - Technische BundesanstaltAbbestr. 2 -1210587 BerlinDEU

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