Elektronenstrahllithografie-System mit Rasterelektronenmikroskopie - Erlangen
- Auftraggeber:
- Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
- Region:
- Erlangen, DEU
Archiv: Frist abgelaufen am 23.09.2026
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Abgeschlossen
Die IMMS GmbH schreibt die mechanische Justage eines optischen Interfaces aus, aufgeteilt in zwei Lose. Los 1 umfasst eine 6D-Positionierungseinheit mit einer Positioniereinheit und einer Kontrolleinheit für Translationen im Bereich von ±10mm und Rotationen von ±20°, mit einer Positioniergenauigkeit von 50 nm bzw. 10 µrad. Los 2 beinhaltet die elektrische Kontaktierung mittels einer Cantilever-Probecard mit 16 Wolfram-Rhenium-Sonden (Durchmesser 0,254mm) für den Einsatz in Waferprobern. Die Lieferung soll schnellstmöglich, spätestens bis zum 18.12.2026 erfolgen.
Mechanische Justage optisches Interface
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