Entwicklung und Installation einer Targetplattform - Dresden
- Auftraggeber:
- Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
- Region:
- Dresden, DEU
Archiv: Frist abgelaufen am 23.07.2024
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Abgeschlossen
Ausschreibung eines Wafer Level Rasterkraftmikroskops für optische Absorptionsmessungen mit nm-Auflösung für die Fraunhofer-Gesellschaft (FhG) am Standort ENAS. Das System wird für die Bearbeitung von MEMS-Wafern in einem CMOS-kompatiblen Reinraum der Klasse 6 (EN ISO 14644-1) eingesetzt. Die detaillierte Konfiguration ist nach dem Stand der Technik durch den Anbieter zu bestimmen und abzustimmen. Optionale Artikel sind separat auszuweisen.
Equipment- & Prozessspezifikationen Wafer Level Rasterkraftmikroskop für optische Absorptionsmessungen mit nm-Auflösung - PR659318 - 3340 - W
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