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Fraunhofer-Gesellschaft - Chemisch-Mechanisches Poliersystem (CMP) für Halbleiterwafer

Abgeschlossen
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
DEU
Veröffentlicht: 11.07.2024

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung11.07.24
AngebotsfristNicht verfügbar

Beschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein Chemisch-Mechanisches Poliersystem (CMP) für die Bearbeitung von Halbleiterwafern. Das System ist für herkömmliche Siliziumwafer mit Strukturierung und abgeschiedenen Schichten konzipiert. Hauptkomponenten umfassen eine Kassettenschnittstelle, ein Poliermodul, ein Inline-Prozessüberwachungssystem und ein integriertes Reinigungsmodul. Das System wird im Rahmen des FMD-QNC Verbundprojekts eingesetzt.

Lose (1)

Los LOT-0000

Chemisch-Mechanisches Poliersystem (CMP) - PR737788-2480-W

Klassifizierung

CPV-Codes

31712330Elektrische Maschinen

NUTS-Codes

DED21

Details

Angebotsfrist
Nicht verfügbar
Referenznummer
PR737788-2480-W
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Telefon
+49 00000000
Adresse
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU

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