Fraunhofer-Gesellschaft - Chemisch-Mechanisches Poliersystem (CMP) für Halbleiterwafer
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Zeitplan
Beschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht ein Chemisch-Mechanisches Poliersystem (CMP) für die Bearbeitung von Halbleiterwafern. Das System ist für herkömmliche Siliziumwafer mit Strukturierung und abgeschiedenen Schichten konzipiert. Hauptkomponenten umfassen eine Kassettenschnittstelle, ein Poliermodul, ein Inline-Prozessüberwachungssystem und ein integriertes Reinigungsmodul. Das System wird im Rahmen des FMD-QNC Verbundprojekts eingesetzt.
Lose (1)
Chemisch-Mechanisches Poliersystem (CMP) - PR737788-2480-W
Klassifizierung
CPV-Codes
NUTS-Codes
Details
- Angebotsfrist
- Nicht verfügbar
- Referenznummer
- PR737788-2480-W
- Plattform
- Bund, TED
- Quelle
- Originalquelle
Kontaktinformationen
- Telefon
- +49 00000000
- Adresse
- Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Hansastraße 27c80686 MünchenDEU
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