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Zwickau, Westsächsische Hochschule - Spektroskopisches Ellipsometer für Mikrosystemtechnik

Abgeschlossen
Westsächsische Hochschule Zwickau
08056 Zwickau, DEU
Veröffentlicht: 15.06.2023

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung15.06.23
Angebotsfrist07.07.23

Beschreibung

Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt die Beschaffung eines spektroskopischen Ellipsometers für die Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie. Das Gerät soll für 150mm Wafer geeignet sein und einen Spektralbereich von 190nm bis 890nm abdecken, mit Vorbereitung für Erweiterungen im NIR-Bereich. Die Lieferung und Inbetriebnahme erfolgt an den Standort Peter-Breuer-Straße 2, 08056 Zwickau. Die Ausführungsfrist endet am 03.11.2023.

Lose (1)

Los 1

Spektroskopische Ellipsometrie für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie

Klassifizierung

NUTS-Codes

DED

Details

Angebotsfrist
07.07.2023
Plattform
Bund

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