Villach, Silicon Austria Labs - High Power Impulse Magnetron Sputtering und Inductively Coupled Plasma Etching Anlagen

Silicon Austria Labs GmbH schreibt die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei Modulkammern für High-Power Impulse Magnetron Sputtering und Inductively Coupled Plasma Oberflächenvorbereitung aus. Die Anlagen dienen der Herstellung verschiedener Metall-Dünnschichten. Das Projekt wird durch die Europäische Union gefördert (Projektnummer: 920241).