Technische Universität Ilmenau - Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer Plasma-FIB-Anlage

Die Technische Universität Ilmenau sucht eine moderne, flexibel einsetzbare Plasma-FIB-Anlage (PFIB) zur kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über große Probenbereiche mit hoher Abtragsrate. Die Anlage dient der Herstellung und Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen für die Forschung, insbesondere im Bereich quanten-photonisch integrierter Systeme (Q-PICs) und der Verknüpfung mit mikroelektronischen Systemen. Sie unterstützt zudem die Lamellenpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und ermöglicht die Charakterisierung mittels elektronenstrahlbasierter Abbildung.