Stuttgart - Universität - Präzisionspoliersystem für Halbleiteroptik

Die Universität Stuttgart sucht ein Präzisionspoliersystem zur mechanischen Entfernung von metamorphen Pufferschichten (MMB) aus InGaAs. Ziel ist die Verbesserung der optischen Qualität von InAs-Quantenpunkten (QDs) und die Ermöglichung der Herstellung spannungsfreier QD-Membranen. Das System muss III-V-Materialien auf eine Oberflächenrauheit von RMS < 1 nm polieren können und eine hohe Kontrolle der Gesamtdickenabweichung (TTV) sowie Reproduzierbarkeit bieten. Dies ermöglicht auch die Realisierung von III-V/Si-basierten quantenphotonischen integrierten Schaltungen (QPICs).