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Stuttgart - Universität - Anlage zum Reaktiven Ionenätzen

Abgeschlossen
Universität Stuttgart
Stuttgart, DEU
Veröffentlicht: 18.02.2025

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung18.02.25
Angebotsfrist21.03.25

Beschreibung

Die Universität Stuttgart sucht eine Anlage zum Reaktiven Ionenätzen (RIE) mit induktiv-gekoppelter Plasmaquelle (ICP) für ein Reinraumlabor. Die Anlage soll für Forschungszwecke eingesetzt werden und zentrale Ätzprozesse in Prozesssträngen ermöglichen. Sie muss ein breites Spektrum an Proben und Materialien bearbeiten können.

Lose (1)

Los 24-262

Anlage zum Reaktiven Ionenätzen

Klassifizierung

CPV-Codes

31712100Elektrische Maschinen

NUTS-Codes

DE111

Details

Angebotsfrist
21.03.2025
Referenznummer
24-262
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Ansprechpartner
1000
Telefon
+49 7116850
Adresse
Universität StuttgartKeplerstraße 770174 StuttgartDEU

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