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Abgeschlossen

Stuttgart - Universität - Anlage zum Reaktiven Ionenätzen

Auftraggeber:
Universität Stuttgart
Region:
Stuttgart, DEU
Veröffentlicht:
18.02.2025
Angebotsfrist
21.03.2025Abgelaufen

Zeitplan

  1. Bekanntmachung
  2. Angebotsfrist

Beschreibung

Die Universität Stuttgart sucht eine Anlage zum Reaktiven Ionenätzen (RIE) mit induktiv-gekoppelter Plasmaquelle (ICP) für ein Reinraumlabor. Die Anlage soll für Forschungszwecke eingesetzt werden und zentrale Ätzprozesse in Prozesssträngen ermöglichen. Sie muss ein breites Spektrum an Proben und Materialien bearbeiten können.

Lose (1)

  • Los LOT-0001

    Anlage zum Reaktiven Ionenätzen

Klassifizierung

CPV-Codes
31712100Elektrische Maschinen
NUTS-Codes
DE111

Details

Angebotsfrist
21.03.2025
Referenznummer
24-262
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Ansprechpartner
1000
Telefon
+49 7116850
Adresse
Universität StuttgartKeplerstraße 770174 StuttgartDEU

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