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Siemens AG - Lieferung Reservepol für 1200 MVA Transformator
Bundesverwaltungsgericht
AUT
€
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Die Universität Stuttgart sucht eine Anlage zum Reaktiven Ionenätzen (RIE) mit induktiv-gekoppelter Plasmaquelle (ICP) für ein Reinraumlabor. Die Anlage soll für Forschungszwecke eingesetzt werden und zentrale Ätzprozesse in Prozesssträngen ermöglichen. Sie muss ein breites Spektrum an Proben und Materialien bearbeiten können.
Anlage zum Reaktiven Ionenätzen
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