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Stuttgart - Anlage zur Mikrowellenplasma-gestützten chemischen Gasphasenabscheidung von Diamantfilmen

Abgeschlossen
Universität Stuttgart
Stuttgart, DEU
Veröffentlicht: 30.06.2026

Diese Ausschreibung ist beendet

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Zeitplan

Bekanntmachung30.06.26
Angebotsfrist31.07.26

Beschreibung

Die Universität Stuttgart sucht eine Anlage zur Mikrowellenplasma-gestützten chemischen Gasphasenabscheidung von Diamantfilmen. Die Anlage muss für Substrate mit einem Durchmesser von 4 Zoll geeignet sein und eine Inhomogenität der Beschichtung von weniger als 25% über diese Größe aufweisen. Der Abscheidungstemperaturbereich liegt zwischen 500 °C und 1200 °C. Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme am Institut für Organische Chemie in Stuttgart sind Teil des Auftrags.

Lose (1)

Los 26-094

Anlage zur Mikrowellenplama-gestützten chemischen Gasphasenabscheidung von Diamant

Klassifizierung

CPV-Codes

38000000Labor- & Messgeräte

NUTS-Codes

DE111

Details

Angebotsfrist
31.07.2026
Referenznummer
26-094
Plattform
Bund, TED

Kontaktinformationen

Ansprechpartner
1000
Telefon
+49 7116850
Adresse
Universität StuttgartKeplerstraße 770174 StuttgartDEU

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