Lieferung und Inbetriebnahme einer Sicherheitswerkbank mit Laminar-Airflow - Magdeburg
- Auftraggeber:
- Universitätsklinikum Magdeburg A.ö.R.
Archiv: Frist abgelaufen am 31.07.2026
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Abgeschlossen
Die Universität Stuttgart sucht eine Anlage zur Mikrowellenplasma-gestützten chemischen Gasphasenabscheidung von Diamantfilmen. Die Anlage muss für Substrate mit einem Durchmesser von 4 Zoll geeignet sein und eine Inhomogenität der Beschichtung von weniger als 25% über diese Größe aufweisen. Der Abscheidungstemperaturbereich liegt zwischen 500 °C und 1200 °C. Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme am Institut für Organische Chemie in Stuttgart sind Teil des Auftrags.
Anlage zur Mikrowellenplama-gestützten chemischen Gasphasenabscheidung von Diamant
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