Siegen - Beschaffung von Plasmaanlagen für reaktives Ionenätzen und Plasmareinigung

Beschaffung von zwei Plasmaanlagen für das reaktive Ionenätzen (RIE) und die Plasmareinigung von bis zu 6 Zoll großen Substraten für den zentralen Reinraum der Universität Siegen. Eine Anlage dient der Reinigung mit Ar und O2, die zweite dem RIE mit Ar, O2 und SF6. Die Anlagen werden in den universitären Forschungsschwerpunkten Sensorik und Materialwissenschaften eingesetzt.