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Beschaffung von Geräten für eine Prozesskette zur Präparation von Proben für in-situ-EBSD-Analysen in einem FIB-SEM. Die Prozesskette soll aus einem System zur Zielpräparation, einem System zum Ionenstrahl-Polieren und einem Beschichtungssystem bestehen. Hauptsächlich werden Metalle, Kunststoffe, Metall-Kunststoff-Verbunde, beschichtete Bauteile, Keramiken und Gläser präpariert. Die Geräte bilden eine Prozesskette für Forschungs- und Entwicklungsprojekte.
FIB-REM-Grundgerät
Analytik
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