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Die Universität Paderborn sucht eine Ionenstrahlsputteranlage zur Herstellung von optischen Dünnfilmen für ihren Reinraum. Das System soll die Herstellung von mindestens vier mischbaren dielektrischen Schichtmaterialien mittels Sputtern oder reaktivem Sputtern ermöglichen. Eine prozessbegleitende Kontrolle der Schichten mittels eines optischen Messsystems und ein Loadlock-System für Proben bis 4 Zoll sind erforderlich. Gesucht wird ein Gesamtsystem mit anwenderfreundlicher Software und etablierten Rezepten für flexible und reproduzierbare Prozesse.
Ionenstrahlsputteranlage
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