München, Technische Universität - Femtosekunden-Laser-Mikrobearbeitungssystem

Die Technische Universität München beabsichtigt die Beschaffung eines integrierten Femtosekunden-Laser-Mikrobearbeitungssystems für die Mikroelektronik- und Bioelektronikfertigung. Das System muss 2,5-D-Lasermikrobearbeitungsanwendungen ermöglichen, hohe Präzisionsstandards erfüllen und für die Strukturierung von Materialien geeignet sein, die lithografisch nicht bearbeitbar sind. Die Budgetobergrenze beträgt 411.760 EUR netto (490.000 EUR brutto).