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Beschaffung einer kompakten Hochvakuum-PVD-Anlage zur Herstellung funktioneller Dünnschichten mittels Magnetron-Sputtern für Forschungsprojekte in Mikro- und Nanotechnologie, Sensortechnik und Halbleitertechnik. Die Anlage soll als integrierte Tischanlage mit modularer Bauweise konzipiert sein und die Abscheidung metallischer, oxidischer und nitridischer Schichten unterstützen. Der geschätzte Auftragswert beträgt 107.600,00 EUR netto. Ort der Leistungserbringung ist 39106 Magdeburg.
Beschaffung einer kompakten Hochvakuum-PVD-Anlage zur Herstellung funktioneller Dünnschichten mittels Magnetron-Sputtern
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