Archiv: Frist abgelaufen am 17.09.2025
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Abgeschlossen
Ausschreibung für den Kauf, die Lieferung, Installation und Einweisung in den Anlagenbetrieb eines neuen reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems. Das System dient der Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächenbearbeitung optischer Substrate mit 200 mm Durchmesser unter Verwendung reaktiver Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff und Stickstoff. Einsatz im Forschungsbereich "Ultra-Präzisionsoberflächen" am Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. in Leipzig.
Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems
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